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真空泵的选型原则：
1、选用的真空泵必须能抽出工艺过程中释放出来的气体。例如，工艺过程中产生的是水蒸气，选用的真空泵必须能抽水蒸气。
2、选用主泵的极限真空度，必须高于被抽容器要求的真空度，至少要高一个数量级，并且能在要求的工作真空度范围内正常工作。
3、选用主泵的抽速必须大于工艺过程中的最大放气量。如果在主泵前有冷阱或档板，则加阱或挡板之后的有效抽速应大于工艺过程中最大放气量。如果工艺过程中会出现突然大量放气，主泵的有效抽速还要适当加大，通常加大到最大放气量的2~3倍。
4、选用的真空泵其工作介质和制造泵的材料必须满足工艺要求。在抽出具有腐蚀性气体时，应采取防腐措施。抽出带有灰尘或颗粒的气体时，要在主泵前加除尘器或过滤器。
5、对于连续生产的工艺，所选用的真空泵必须可靠的满足连续性生产的需要。必要时，最好加一套自动更换的备用真空泵。如果工艺过程中放气量越来越小，可以备用抽气量较小的真空泵，作为维持泵，以实现节能降耗。
6、如果有一种以上的真空泵能满足同一种工艺需求时，要进行成本和运转费用的经济性分析，选用经济性好，运行可靠，维修量小，使用与维修方便的真空泵。
真空泵的主要性能如下：
1、极限压力：将真空泵与检测容器相连，放入待测的气体后，进行长时间连续地抽气，当容器内的气体压力不在下降，而维持某一定值时，此压力即为泵的极限压力，其单位用Pa表示。
2、流量：在真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体量称为泵的流量。
3、抽气速率：在真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体的体积称为泵的抽速。
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