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每半月应对高效空气过滤器系统内部清洁一次，先用湿抹布对内部进行擦拭，再用干抹布进行全面的洁；高效空气过滤器更换后，应进行检漏试验并进行验证；高效空气过滤器的检测、更换应及时记录；高效空气过滤器更换后，尘埃粒子计数器对高效空气过滤器和安装连接处进行检漏。在扫描巡检的同时，紧固螺栓或用环氧树脂硅胶堵漏；检测洁净室的悬浮粒子数明显超标，高效过滤器终风量降至初风量的70%以下；更换高效过滤器时，应把安装过滤器的四框和周边用湿的洁净抹布擦拭干净，并且要反复三次，擦拭后应立即安装高效过滤器。高效空气过滤器应在现场拆箱，并检查合格后，立即进行安装，以防止灰尘落进高效过滤器。
高效空气过滤器表面不是很脏时，将高效空气过滤器拿到室外用洁净压缩空气双面吹洗，吹洗至用眼在光线下不见尘粒止；对于过滤器表面很脏时，需要进行水洗。在一般区的制水室(空调间)内用槽子放入约100斤的引用水，将1斤瓶装的洗洁精稀释后，将过滤器放入槽内要全部淹没在水里。进行漂洗若干次，至无污，再用清水冲洗直至水清为止，取出放在不锈钢隔栅地拖上空干水，然后平铺在架子上阴干，凉晒时要双面勤翻以便加快干燥速度。
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